[8p-P10-1~49] 21.1 Joint Session K "Wide bandgap oxide semiconductor materials and devices"

[8p-P10-4] Effect of composition control on InGaZnO₄ thin films by Electrostatic Spray Deposition

〇Hiroki Maruyama¹, Kanata Tanaka¹, Mutsumi Sugiyama^1,2 (1.Tokyo Univ. Sci., 2.RIST)

Keywords:

Indium Gallium Zinc Oxide,Electrostatic Spray Deposition,solar cell

本研究では、ESD を用いた α-InGaZnO₄薄膜の形成および組成制御によるバンド構造への影響について検討を行った。