Presentation Information
[8p-P10-40]Charging effect of ZnO and Ga2O3 particles on Ga thermal diffusion into ZnO particles
〇(M2)Yuusuke Kawai1, Toshiyuki Yoshida1, Yasuhisa Fujita1 (1.Shimane Univ Natural science)
Keywords:
ZnO,Charging effect,perticle layer
ZnO/Ga2O3各粒子の帯電状態がシート抵抗に大きく影響することが分かった。両方を負に帯電させた場合、シート抵抗値とDAP発光共にGa熱拡散を行っていないAs-preparedとほぼ同じ特性となり、Gaドーピングの効果は見られなかった。一方、異符号に帯電させた場合、劇的なシート抵抗の低下が見られ、DAP発光およびGa/Zn (at%)比がシート抵抗の変化に対応していることから、異符号に帯電させることはGaドーピングの効果向上に貢献することが確認できた。