講演情報
[8p-P10-40]ZnO微粒子へのGa熱拡散におけるZnO/Ga2O3粒子の帯電効果
〇(M2)川合 悠介1、吉田 俊幸1、藤田 恭久1 (1.島根大自然科学研究科)
キーワード：
酸化亜鉛、帯電効果、粒子層
ZnO/Ga2O3各粒子の帯電状態がシート抵抗に大きく影響することが分かった。両方を負に帯電させた場合、シート抵抗値とDAP発光共にGa熱拡散を行っていないAs-preparedとほぼ同じ特性となり、Gaドーピングの効果は見られなかった。一方、異符号に帯電させた場合、劇的なシート抵抗の低下が見られ、DAP発光およびGa/Zn (at%)比がシート抵抗の変化に対応していることから、異符号に帯電させることはGaドーピングの効果向上に貢献することが確認できた。