[9a-N301-1~11] 15.4 III-V-group nitride crystals

11:15 AM - 11:30 AM JST(2:15 AM - 2:30 AM UTC)Presentation by Applicant for JSAP Young Scientists Presentation Award

[9a-N301-9] Increase in External Quantum Efficiency of Deep Ultraviolet Micro LED Arrays with Mesa Size Miniaturing

〇Yuma Yamaguchi¹, Shigeya Kimura¹, Tetsuya miyagawa¹, Rei Hashimoto¹, Shinji Saito¹, Shinya Nunoue¹ (1.Toshiba Corporation)

Keywords:

micro LED,AlGaN,EQE

通常サイズ(~mm)のAlGaNベースのUV-LEDでは、波長が短くなるにつれ外部量子効率が低くなることが知られている。これは、TMモード成分の増加による光取り出し効率の低下や高抵抗化による電流密度分布の不均一化、キャリア注入効率の低下、内部量子効率の低下によることが知られている。我々は発光波長265 nmのLEDを発光領域2 µmΦまで微細化することによって最高11.5 %の外部量子効率を得た。これは微細化により光取り出し効率と電流分布の均一性が改善したためと考えられる。