講演情報
[9a-N301-9]メササイズ微細化に伴う深紫外マイクロLEDアレイの外部量子効率増大
〇山口 侑真1、木村 重哉1、宮川 徹也1、橋本 玲1、齋藤 真司1、布上 真也1 (1.株式会社東芝)
キーワード：
マイクロLED、AlGaN、外部量子効率
通常サイズ(~mm)のAlGaNベースのUV-LEDでは、波長が短くなるにつれ外部量子効率が低くなることが知られている。これは、TMモード成分の増加による光取り出し効率の低下や高抵抗化による電流密度分布の不均一化、キャリア注入効率の低下、内部量子効率の低下によることが知られている。我々は発光波長265 nmのLEDを発光領域2 µmΦまで微細化することによって最高11.5 %の外部量子効率を得た。これは微細化により光取り出し効率と電流分布の均一性が改善したためと考えられる。