Presentation Information
[9a-N305-6]Optical characterization of InAs/GaAsSb superlattices on InAs substrates fabricated
by metalorganic vapor deposition
〇Kohei Yamamoto1, Hidetoshi Suzuki1, Masakazu Arai1, Takeshi Fujisawa2, Koji Maeda1 (1.Miyazaki Univ., 2.Housei Univ.)
Keywords:
superlattice
中赤外領域には分子振動によるガスの吸収線が存在し、この波長域を選択的に検出する発光・受光素子の開発されている。層厚の調整により発光波長を制御できるInAs/GaSbタイプⅡ超格子構造が注目されているが、格子定数の差により層厚制御が困難である。そこで本研究では、MOVPEによりAsを8.2％含むGaAsSbを用いることでInAsと格子整合したInAs/GaAsSb超格子を作製し、欠陥低減を図った。PL法をもとにラマン分光法、XRDを用いて結晶性と発光強度の関係を調べた。