Presentation Information
[9a-N406-7]Observation of plasma distribution in a RIE chamber densified by SmCo magnets
〇Mie Tohnishi1, Mina Sato1, Akihiro Matsutani1 (1.Science Tokyo)
Keywords:
plasma distribution,SmCo magnets,high density plasma
永久磁石によるプラズマの高密度化はマグネトロンスパッタで広く用いられている。しかしながら、それらはターゲット直上でのドーナツ型のプラズマであり、広い面積の RIEに適用するには難しい。一方、永久磁石をRF電極の対向に位置したプラズマの高密度化によるエッチングや、電極ホロー溝に永久磁石を設置した均一な高密度プラズマ源が報告されているが、RF電極の対向位置に永久磁石を設置した広い領域のプラズマ発光分布についてはほとんど検討されていない。本研究では、RIE装置の電極に対向するチャンバー蓋上へ永久磁石を同心円状に設置してArプラズマを発生させ、発光強度から広い領域におけるプラズマの高密度化を検討した。