講演情報
[9a-N406-7]SmCo磁石で高密度化されたRIEチャンバー内のプラズマ分布の観察
〇遠西 美重1、佐藤 美那1、松谷 晃宏1 (1.東科大RIM機構)
キーワード：
プラズマ分布、SmCo磁石、高密度プラズマ
永久磁石によるプラズマの高密度化はマグネトロンスパッタで広く用いられている。しかしながら、それらはターゲット直上でのドーナツ型のプラズマであり、広い面積の RIEに適用するには難しい。一方、永久磁石をRF電極の対向に位置したプラズマの高密度化によるエッチングや、電極ホロー溝に永久磁石を設置した均一な高密度プラズマ源が報告されているが、RF電極の対向位置に永久磁石を設置した広い領域のプラズマ発光分布についてはほとんど検討されていない。本研究では、RIE装置の電極に対向するチャンバー蓋上へ永久磁石を同心円状に設置してArプラズマを発生させ、発光強度から広い領域におけるプラズマの高密度化を検討した。