Presentation Information
[9p-N101-6]AI technology to accelerate semiconductor manufacturing process development
〇Kentaro Kutsukake1, Toru Ujihara1, Shota Seki2, Masaki Takaishi2, Hiroki Nagakura3, Koichi Tanigawa3, Yuta Nagai4 (1.Nagoya Univ., 2.AIxtal, 3.Sony Semiconductor Manufacturing, 4.GlobalWafers Japan)
Keywords:
Semiconductor,Machine learning,Optimization
本研究では、Siウェーハ製造プロセスからCMOSイメージセンサー製造プロセスまでのデジタルツインを仮想空間上に構築して最適化することで、プロセス全体での最適化を実現した。これにより従来のシミュレーションを用いた最適化と比較して、要する時間を約1/1000に短縮した。本成果は、企業横断での最適化の必要性を実証するものであり、またCMOSイメージセンサーのみならず様々な半導体材料・デバイスに共通して展開可能な方法である。