Presentation Information
[9p-N103-7]Development of narrowband EUV light source by a liquid Lithium sheet target
〇Yoshiyuki Honda1, Fumio Iwamoto1, Shinji Nagai1, Shunya Yamamoto2, Shintaro Hayasaka2, Hayato Yazawa2, Tsukasa Sugiura2, Tatsuya Soramoto2, Noriyosu Hayashizaki3, Masahiro Namekawa4, Hiroyuki Sakuyama4, Takeshi Higashiguchi2 (1.Gigaphoton Inc., 2.Utsunomiya Univ., 3.Institute of Science Tokyo, 4.Sukegawa Electric Co., LTD.)
Keywords:
EUV,Extreme Ultra Violet,Lithium
ギガフォトンでは液体金属ターゲットにレーザーパルスを照射することによってEUV光を発生させるレーザー生成プラズマ (Laser Produced Plasma：LPP) 方式のEUV光源を開発している。本報告では、液体リチウムシートターゲットにレーザーを照射することで発生するEUV光を計測し、EUV変換効率 (Conversion Efficiency：CE) を評価した結果について報告する。