講演情報
[9p-N103-7]液体リチウムシートターゲットによる狭帯域EUV光源の開発
〇本田 能之1、岩本 文男1、永井 伸治1、山本 隼也2、早坂 信太朗2、矢澤 隼斗2、杉浦 使2、空本 龍弥2、林﨑 規託3、滑川 雅広4、作山 弘幸4、東口 武史2 (1.ギガフォトン、2.宇都宮大学、3.東京科学大学、4.助川電気工業)
キーワード：
EUV、極端紫外光、リチウム
ギガフォトンでは液体金属ターゲットにレーザーパルスを照射することによってEUV光を発生させるレーザー生成プラズマ (Laser Produced Plasma：LPP) 方式のEUV光源を開発している。本報告では、液体リチウムシートターゲットにレーザーを照射することで発生するEUV光を計測し、EUV変換効率 (Conversion Efficiency：CE) を評価した結果について報告する。