[9p-N307-1~15] 6.6 Probe Microscopy

1:30 PM - 1:45 PM JST(4:30 AM - 4:45 AM UTC)

[9p-N307-1] Improvement of spatial resolution in FM-AFM potentiometry using heterodyne method

〇Eiichi Taji¹, Gilbert Pado¹, Ryota Fukuzawa¹, Hiroaki Benten¹, Masakazu Nakamura¹ (1.NAIST)

Keywords:

atomic force microscopy,potential measurement

我々は、試料の交流的な電位変化をカンチレバー電位の変化として高入力インピーダンスボルテージフォロワ回路により検出する非接触型原子間力顕微鏡ポテンショメトリの開発を行ってきた。しかし、探針-試料間の巨大な寄生容量により空間分解能が乏しいという課題がある。今回我々は、寄生容量の影響を抑えるため、出力信号のうち探針の振動に伴う容量変化成分を検出するヘテロダイン法によって高分解能化を試みた。