講演情報
[9p-N307-1]ヘテロダイン法による周波数変調型原子間力ポテンショメトリの高空間分解能化に関する検討
〇田次 詠一1、Pado Gilbert1、福澤 亮太1、辨天 宏明1、中村 雅一1 (1.奈良先端大)
キーワード：
原子間力顕微鏡、電位計測
我々は、試料の交流的な電位変化をカンチレバー電位の変化として高入力インピーダンスボルテージフォロワ回路により検出する非接触型原子間力顕微鏡ポテンショメトリの開発を行ってきた。しかし、探針-試料間の巨大な寄生容量により空間分解能が乏しいという課題がある。今回我々は、寄生容量の影響を抑えるため、出力信号のうち探針の振動に伴う容量変化成分を検出するヘテロダイン法によって高分解能化を試みた。