[9p-N324-1~19] 8.2 Plasma deposition of thin film, plasma etching and surface treatment

4:15 PM - 4:30 PM JST(7:15 AM - 7:30 AM UTC)Presentation by Applicant for JSAP Young Scientists Presentation Award

[9p-N324-11] Highly efficient formation of Si thick film anodes for lithium-ion batteries using atmospheric pressure PECVD

〇Koki Hiromoto¹, Afif Hamzens¹, Farrel Dzaudan Naufal¹, Koki Enomoto¹, Hiromasa Ohmi¹, Hiroaki Kakiuchi¹ (1.Univ. Osaka)

Keywords:

atmospheric pressure PECVD,Lithium ion battery,silicon anodef

我々は大気圧PECVD法による高機能Si厚膜の高能率成膜法を研究している。具体的には、微結晶Si層とアモルファスSi層の二層構造を持つSi厚膜を成膜し、高い安定性と電気容量を持つリチウムイオン電池の負極材料としての応用を検討している。本講演では、銅基板上に5 μm以上の厚さを持つ二層構造Si厚膜を作製し、その成膜特性および試作したハーフセルによる充放電試験の結果を報告する。