講演情報
[9p-N324-11]大気圧PECVD法によるリチウムイオン電池用厚膜Si負極の高能率形成
〇広本 恒輝1、ハムゼンス アフィフ1、ナウファル ファレルザウダン1、榎本 光希1、大参 宏昌1、垣内 弘章1 (1.阪大院工)
キーワード：
大気圧PECVD、リチウムイオン電池、シリコン負極
我々は大気圧PECVD法による高機能Si厚膜の高能率成膜法を研究している。具体的には、微結晶Si層とアモルファスSi層の二層構造を持つSi厚膜を成膜し、高い安定性と電気容量を持つリチウムイオン電池の負極材料としての応用を検討している。本講演では、銅基板上に5 μm以上の厚さを持つ二層構造Si厚膜を作製し、その成膜特性および試作したハーフセルによる充放電試験の結果を報告する。