Presentation Information
[9p-N324-2]Effect of Argon Gas Pressure on the PL Emission Intensity of R. F. Plasma Treated PTFE
〇(B)Yoshiki Mogi1, Yuichiro Kuroki1 (1.Salesian Polytech)
Keywords:
Plasma treatment,PTFE,Photoluminescence
我々の研究室では、各種プラズマ処理におけるプロセスモニタとして、プラズマ処理後のPTFE表面におけるフォトルミネッセンス:PL現象を応用することを検討している。これまでにマイクロ波プラズマ処理によりPTFEの発光強度が増加することを報告してきた。本研究では処理条件の異なるR. F. マグネトロンプラズマ処理を施した2種類のPTFEの発光強度を測定し比較を行った結果について報告する。