講演情報
[9p-N324-2]R. F. プラズマ処理を施したPTFEのPL発光強度に及ぼすArガス圧の影響
〇(B)茂木 良樹1、黒木 雄一郎1 (1.サレジオ高専)
キーワード：
プラズマ処理、PTFE、フォトルミネッセンス
我々の研究室では、各種プラズマ処理におけるプロセスモニタとして、プラズマ処理後のPTFE表面におけるフォトルミネッセンス:PL現象を応用することを検討している。これまでにマイクロ波プラズマ処理によりPTFEの発光強度が増加することを報告してきた。本研究では処理条件の異なるR. F. マグネトロンプラズマ処理を施した2種類のPTFEの発光強度を測定し比較を行った結果について報告する。