[14a-P05-1~26] 11 Superconductivity (Poster)

[14a-P05-19] Comparison of properties of Nb thin films on R-plane and C-plane sapphire substrates

〇(D)Tomohiro Hirama¹, Yasushi Ishiguro¹, Takashi Tachiki¹ (1.NDA)

Keywords:

sapphire substrates,niobium thin films

テラヘルツ帯で動作する高出力磁束フロー発振器 (FFO) を実現するために、FFOや高周波回路を構成するNb薄膜の特性向上を目指している。本研究ではR面とC面サファイア基板上それぞれにNb薄膜を成膜し、表面モフォロジーや電気的特性を比較することとした。