[14a-P05-1~26] 11 超伝導（ポスター）

[14a-P05-19] R面とC面サファイア基板上のNb薄膜の特性比較

〇(D)平間 友博¹、石黒 康志¹、立木 隆¹ (1.防衛大)

キーワード：

サファイア基板、Nb薄膜

テラヘルツ帯で動作する高出力磁束フロー発振器 (FFO) を実現するために、FFOや高周波回路を構成するNb薄膜の特性向上を目指している。本研究ではR面とC面サファイア基板上それぞれにNb薄膜を成膜し、表面モフォロジーや電気的特性を比較することとした。