[14a-P05-1~26] 11 Superconductivity (Poster)

[14a-P05-22] Fabrication of self-aligned superconducting nanostrip photon detector with He ion irradiation

Shin Kawaguchi¹, Keiko Ukita², Jin Sasaki², Keisuke Nakamura², Yasutaka Matsuo², 〇Hiroyuki Shibata¹ (1.Kitami Inst. Tech., 2.Hokkaido RIES)

Keywords:

SNSPD

Si深掘りエッチングを用いて光アライメント容易な自己整合型超伝導ナノストリップ光子検出器を作製し、Heイオン照射による特性向上を試みた。