[14a-P05-1~26] 11 超伝導（ポスター）

[14a-P05-22] Heイオン照射した自己整合型超伝導ナノストリップ光子検出器の作製

川口 真¹、浮田 桂子²、佐々木 仁²、中村 圭佑²、松尾 保孝²、〇柴田 浩行¹ (1.北見工大、2.北大電子研)

キーワード：

超伝導ナノストリップ光子検出器

Si深掘りエッチングを用いて光アライメント容易な自己整合型超伝導ナノストリップ光子検出器を作製し、Heイオン照射による特性向上を試みた。