[14p-K207-1~21] 17.1 Carbon nanotubes & other nanocarbon materials

6:30 PM - 6:45 PM JST(9:30 AM - 9:45 AM UTC)

[14p-K207-20] Detection of surface adsorbates on semiconducting carbon nanotubes

〇Haruki Uchiyama¹, Yudai Yoshikawa¹, Hiromichi Kataura², Yutaka Ohno^1,3 (1.Nagoya Univ., 2.AIST, 3.IMaSS, Nagoya Univ.)

Keywords:

carbon nanotube,surface adsorbate,Raman spectroscopy

カーボンナノチューブ(CNT)薄膜トランジスタ(TFT)は高い移動度や機械的柔軟性を備え、フレキシブルエレクトロニクスへの応用が期待されている．最近，TFT作製プロセスで生じるレジストの残渣により，低欠陥半導体CNTのG/D比が著しく低下することを報告した．本研究では，YOCD法によりレジスト残渣の除去を試み，CNTのラマンスペクトルへの表面吸着物の影響を明らかにした．