[14p-K305-1~14] 3.1 Basic optics and frontier of optics

2:00 PM - 2:15 PM JST(5:00 AM - 5:15 AM UTC)

[14p-K305-2] Optical Flat Lenses Made of Colored Photoresist through an i-line Stepper

〇Hiroyuki Kishida¹, Ryohei Yamada², Tomohiro Takami¹, Itti Rittaporn¹, Mizuho Matoba², Haruyuki Sakurai², Kuniaki Konishi² (1.JSR corporation, 2.The University of Tokyo)

Keywords:

flat lens,diffractive optical element,photoresist

近年、微細構造で形成される平面レンズのメタレンズが注目されている。しかし多くのメタレンズは、ｎｍオーダーの高アスペクト比構造が必要であり、大量生産が困難であった。本研究では、特定の光を遮蔽するカラーレジストを用い、高アスペクト比が不要なフレネルゾーンプレート平面レンズを開発した。これは塗布、i線ステッパー露光、現像のみの極めて簡便に作製可能でありながら、線幅１．１μｍまで可視光撮影可能であった。