講演情報
[14p-K305-2]i線ステッパー工程のみで作製可能なカラーレジストからなる可視光用平面レンズ
〇岸田 寛之1、山田 涼平2、高見 朋宏1、イッティ リッターポーン1、的場 みづほ2、櫻井 治之2、小西 邦昭2 (1.JSR株式会社、2.東大院理)
キーワード：
平面レンズ、回折光学素子、フォトレジスト
近年、微細構造で形成される平面レンズのメタレンズが注目されている。しかし多くのメタレンズは、ｎｍオーダーの高アスペクト比構造が必要であり、大量生産が困難であった。本研究では、特定の光を遮蔽するカラーレジストを用い、高アスペクト比が不要なフレネルゾーンプレート平面レンズを開発した。これは塗布、i線ステッパー露光、現像のみの極めて簡便に作製可能でありながら、線幅１．１μｍまで可視光撮影可能であった。