[14p-K310-1~9] 1.2 Education

2:45 PM - 3:00 PM JST(5:45 AM - 6:00 AM UTC)

[14p-K310-7] [The 2nd Kenji Natori Award Speech] Simulation Technology in Semiconductor Nanofabrication and Semiconductor Human Resource Development

〇Kazuhiro Tada¹ (1.NIT, Toyama Coll.)

Keywords:

nanoimprint

半導体微細加工においては，微細化に伴い原子，分子の挙動を考慮した現象把握が必要である。本講演では，半導体微細加工技術の中でも，ナノインプリントを中心にして，現象解析に用いる分子シミュレーションについて解説するとともに，高専における半導体人材育成に向けた教育研究の取り組みについて紹介する．