講演情報
[14p-K310-7][第2回シリコン系半導体エレクトロニクス高専活性化奨励賞（名取研二高専活性化奨励賞）受賞記念講演] 半導体ナノ加工におけるシミュレーション技術と半導体人材育成
〇多田 和広1 (1.富山高専)
キーワード：
ナノインプリント
半導体微細加工においては，微細化に伴い原子，分子の挙動を考慮した現象把握が必要である。本講演では，半導体微細加工技術の中でも，ナノインプリントを中心にして，現象解析に用いる分子シミュレーションについて解説するとともに，高専における半導体人材育成に向けた教育研究の取り組みについて紹介する．