[14p-K401-1~13] 15.4 III-V-group nitride crystals

5:15 PM - 5:30 PM JST(8:15 AM - 8:30 AM UTC)Presentation by Applicant for JSAP Young Scientists Presentation Award

[14p-K401-13] Development and characterization of step-free GaInN-based RGB monolithic μLED arrays

〇Yuki Shimizu¹, Naoki Hasegwa¹, Koko Fukushima¹, Yoshinobu Suehiro¹, Tetsuya Takeuchi¹, Satoshi Kamiyama¹, Daisuke Iida², Ohkawa Kazuhiro², Motoaki Iwaya¹ (1.Fac.Sci.&Tech, Meijo Univ, 2.KAUST)

Keywords:

microLED,monolithic microLED arrays

GaInN系材料は，積層構造によるモノリシック集積によりAR/VRディスプレイへの応用が期待されている．我々は，結晶成長によってRGB-LEDをトンネル接合で接続する構造で積層し,フルカラー動作を実証してきた．しかし，この構造では段差により，駆動回路との電気的接続が難しいという課題があった．本報告では，ビア構造と呼ばれる段差フリーのデバイス構造による段差フリーGaInN系積層型RGBモノリシックμLEDアレイを作製し，その結果を示す．