講演情報
[14p-K401-13]段差フリーGaInN系RGBモノリシックμLEDアレイの開発と特性評価
〇清水 優輝1、長谷川 直希1、福島 瑚子1、末広 好伸1、竹内 哲也1、上山 智1、飯田 大輔2、大川 和宏2、岩谷 素顕1 (1.名城大学・理工、2.KAUST)
キーワード：
マイクロLED、モノリシック型μLEDアレイ
GaInN系材料は，積層構造によるモノリシック集積によりAR/VRディスプレイへの応用が期待されている．我々は，結晶成長によってRGB-LEDをトンネル接合で接続する構造で積層し,フルカラー動作を実証してきた．しかし，この構造では段差により，駆動回路との電気的接続が難しいという課題があった．本報告では，ビア構造と呼ばれる段差フリーのデバイス構造による段差フリーGaInN系積層型RGBモノリシックμLEDアレイを作製し，その結果を示す．