[14p-K504-1~13] 3.8 Terahertz technologies

3:00 PM - 3:15 PM JST(6:00 AM - 6:15 AM UTC)

[14p-K504-8] Leakage resistance in MEMS bolometers using AlGaAs/GaAs heterostructures

〇(M2)Tomonosuke Hayami¹, Kazuhiro Takahashi², Naomi Nagai¹, Kazuyuki Kuroyama¹, Kazuhiko Hirakawa¹ (1.The University of Tokyo, 2.Hamamatsu Photonics)

Keywords:

mems,THz detection

MEMS技術を用いて作製される機械的両持ち梁共振器構造は、共振周波数のシフトを信号として用いる新しい原理のテラヘルツ（THz）検出器であるが、梁の駆動側に交流電圧を印加すると、他端の検出側にもわずかに（約1 %程度）駆動電圧が漏れて現れる現象が観測された。この駆動側の電圧が検出側に漏れる原因を探るとともに、その抑制に関する検討を行ったので報告する。