[14p-P05-1~12] 15.4 III-V-group nitride crystals

[14p-P05-3] Fabrication of MicroLED film with step-less structure

〇Kazuto Matsui¹, Ryota Kanda¹, Atsushi Nishikawa², Alexander Loesing², Hiroto Sekiguchi¹ (1.Toyohashi Tech., 2.ALLOS)

Keywords:

MicroLED,Film device,Transfer technology

我々が開発したマイクロLEDフィルムは，生体適合フィルム上へのLEDアレイ一括転写技術により作製している。しかし，金属配線をLEDの段差に3次元的に形成しているため，段切れや曲げによる破断等の問題が生じていた。本研究では，2次元金属配線上にLEDの電極金属と直接接合する方法を考案した。また，これらの接合の歩留まり向上のため，ステップレス構造を検討し，マイクロLEDフィルムへの適用について検討した。