[14p-P07-1~61] 1 Interdisciplinary Physics and Related Areas of Science and Technology (Poster)

[14p-P07-1] Dependence of Power Generation Performance of Si Integrated Thermoelectric Device on the Leg Shape

〇Tatsuya Hayashi¹, Keita Kuga¹, Takanobu Watanabe¹, Takeo Matsuki² (1.Waseda Univ, 2.Sanso Inst)

Keywords:

Si Integrated Thermoelectric Device

シリコン集積熱電デバイスの発電部(レグ)の幅をワイヤー加工して狭くしたものと、幅を広くシート形状にしたものを比較し、形状の発電性能に与える影響を広範囲に検討した。