[14p-P07-1~61] 1 応用物理学一般（ポスター）

[14p-P07-1] シリコン集積熱電デバイスの発電性能のレグ形状依存性

〇林 竜也¹、空閑 敬大¹、渡邉 孝信¹、松木 武雄² (1.早大理工、2.産総研)

キーワード：

シリコン集積熱電デバイス

シリコン集積熱電デバイスの発電部(レグ)の幅をワイヤー加工して狭くしたものと、幅を広くシート形状にしたものを比較し、形状の発電性能に与える影響を広範囲に検討した。