[15a-K304-1~11] 3.7 Optical measurement, instrumentation, and sensor

9:45 AM - 10:00 AM JST(12:45 AM - 1:00 AM UTC)

[15a-K304-4] High-speed 3D profile measurement based on symmetric comb interval sweep combined with Fourier transform method

〇(M1C)Sota Miura¹, Takamasa Suzuki¹, Samuel Choi¹ (1.Niigata Univ.)

Keywords:

interferometry,optical frequency comb,fringe analysis

本研究では，nm精度のレーザ変位計とmm精度の3次元コヒーレンス顕微鏡の機能を融合する広帯域マルチギガヘルツコム干渉計測法にフーリエ変換法を導入した3次元形状復元を試みた．実験では，膜厚約100µmのガラス板に対して対称的にコム間隔を走査し断層分布を得た．位相定在の干渉縞を活用してフーリエ変換法による位相復元を実施し，撮像枚数の節約と信号処理の簡素化による高速な３次元計測が可能であることを実証した．