講演情報
[15a-K304-4]対称的光コム間隔掃引とフーリエ変換法を併用した高速３次元形状計測
〇(M1C)三浦 颯太1、鈴木 孝昌1、崔 森悦1 (1.新潟大院自然研)
キーワード：
干渉計測、光コム、フリンジ解析
本研究では，nm精度のレーザ変位計とmm精度の3次元コヒーレンス顕微鏡の機能を融合する広帯域マルチギガヘルツコム干渉計測法にフーリエ変換法を導入した3次元形状復元を試みた．実験では，膜厚約100µmのガラス板に対して対称的にコム間隔を走査し断層分布を得た．位相定在の干渉縞を活用してフーリエ変換法による位相復元を実施し，撮像枚数の節約と信号処理の簡素化による高速な３次元計測が可能であることを実証した．