[15a-K406-1~11] KS.2 Quantum Information Engineering Group

9:00 AM - 9:15 AM JST(12:00 AM - 12:15 AM UTC)

[15a-K406-1] [The 57th Young Scientist Presentation Award Speech] Fully Epitaxial NbN/AlN/NbN Josephson Junctions with Sidewall Spacer Structure for Superconducting Qubits

〇Koki Honda¹, Daiki Kurihara¹, Duong Pham¹, Hiroki Kutsuma¹, Hirotaka Terai², Taro Yamashita¹ (1.Tohoku Univ., 2.NICT)

Keywords:

superconducting qubit,sidewall spacer structure,NbN/AlN/NbN junction

フルエピタキシャル成長したNbNジョセフソン接合を用いた量子ビットは，結晶化した絶縁層により欠陥二準位系の低減が期待されているが，複雑な素子作製プロセスにより本来のコヒーレンス特性が抑制されている可能性がある．本研究では，従来プロセスに比べて，損失源となるSiO₂エッチング残渣が生じにくいsidewall spacer構造を有するNbN/AlN/NbN接合の作製を行った．