[15a-K406-1~11] KS.2 Quantum Information Engineering Group

11:45 AM - 12:00 PM JST(2:45 AM - 3:00 AM UTC)Presentation by Applicant for JSAP Young Scientists Presentation Award

[15a-K406-11] Relationship between Coplanar Waveguide resonators with Al thin film and the difference of film quality by deposition rate

〇Yuma Nikura^1,2, Akiyoshi Tomonaga¹, Yoshiro Urade¹, Yuichi Fujita¹, Kunihiro Inomata¹ (1.AIST, 2.Chuo Univ.)

Keywords:

superconductiong quantum circuits

Al薄膜の蒸着レートおよびウェハの面方位による膜質の違いとコプレーナ導波路型共振器の性能の関連について調べた。Si(111)面およびSi(100)面のウェハ上に、電子線蒸着を用いて蒸着レートの異なるAl薄膜を作成しそれを用いてコプレーナ導波路型共振器を作成した。希釈冷凍機を用いた10mKでのS₂₁測定の結果から、金属薄膜の膜質による内部Q値の共振器中の平均光子数依存性を明らかにした。