[15a-K504-1~8] 3.8 Terahertz technologies

10:45 AM - 11:00 AM JST(1:45 AM - 2:00 AM UTC)

[15a-K504-6] Study on Semiconductor Evaluation Using Time-Resolved Interferometer with THz-PMT

〇Hisanari Takahashi¹, Naoya Kawai¹, Ginji Sugiura¹, Kota Katsuyama¹, Takayuki Omura¹, Hiroshi Satozono¹, Toshiyuki Kawashima¹ (1.Hamamatsu Photonics K.K)

Keywords:

terahertz,Interferometer,semiconductor

我々はこれまで開発してきたTHz-PMTと干渉計を組み合わせたフーリエ分光に対し、NIR励起パルスを付加した時間分解フーリエ分光計測を提案する。サンプルとしてSiウェハを用いて、NIR励起パルスの照射によりサンプルのTHz反射率が優位に増加することを確認できた。NIR励起強度および遅延時間によるTHz反射率の依存性も評価し、キャリア密度も見積もることができた。