講演情報
[15a-K504-6]THz-PMTを用いた時間分解干渉計測による半導体評価の検討
〇高橋 永斉1、河合 直弥1、杉浦 銀治1、勝山 広太1、大村 孝幸1、里園 浩1、川嶋 利幸1 (1.浜ホト)
キーワード：
テラヘルツ、干渉計、半導体
我々はこれまで開発してきたTHz-PMTと干渉計を組み合わせたフーリエ分光に対し、NIR励起パルスを付加した時間分解フーリエ分光計測を提案する。サンプルとしてSiウェハを用いて、NIR励起パルスの照射によりサンプルのTHz反射率が優位に増加することを確認できた。NIR励起強度および遅延時間によるTHz反射率の依存性も評価し、キャリア密度も見積もることができた。