[15a-K508-1~8] 3.2 Information photonics and image engineering

10:15 AM - 10:30 AM JST(1:15 AM - 1:30 AM UTC)

[15a-K508-5] Development of high-speed multi-angle interferometry

〇Ayano Tanabe^1,2, Yuuki Uesugi², Yuichi Kozawa² (1.Citizen Watch, 2.Tohoku Univ.)

Keywords:

digital holographic profilometry,high frame rate

マルチアングル干渉測定法（MAI）は、異なる照明角度でのホログラムを用いた、広い深さ範囲における高精度形状測定法だが、膨大な計算コストがかかる。本発表では、複数の斜入射光の位相差と縦方向走査関数を利用することで、計算量を大幅に削減した高速・高精度なMAI法を提案する。またワンショットMAI計測において、計算量を大きく低減しつつ、従来のMAI法と同様に大きな段差を正確に測定できたことを報告する。