講演情報
[15a-K508-5]高速マルチアングル干渉計測の開発
〇田辺 綾乃1,2、上杉 祐貴2、小澤 祐市2 (1.シチズン時計、2.東北大多元研)
キーワード：
デジタルホログラフィック形状測定、高フレームレート化
マルチアングル干渉測定法（MAI）は、異なる照明角度でのホログラムを用いた、広い深さ範囲における高精度形状測定法だが、膨大な計算コストがかかる。本発表では、複数の斜入射光の位相差と縦方向走査関数を利用することで、計算量を大幅に削減した高速・高精度なMAI法を提案する。またワンショットMAI計測において、計算量を大きく低減しつつ、従来のMAI法と同様に大きな段差を正確に測定できたことを報告する。