[15p-K210-1~12] 1.6 Ultrasonics

2:15 PM - 2:30 PM JST(5:15 AM - 5:30 AM UTC)Presentation by Applicant for JSAP Young Scientists Presentation Award

[15p-K210-4] Analysis of LSAW harmonic resonance properties on piezoelectric substrates
with periodic voids

〇(M1)Shumpei Kobayashi¹, Masashi Suzuki¹, Shoji Kakio¹ (1.Univ. of Yamanashi)

Keywords:

SAW device,SH0 mode plate wave,higher harmonics

当研究グループで提案された，周期的空隙を有する支持基板との接合構造で，SH₀モード板波に近いLSAW共振特性が得られることを明らかにしており，また，SAWは奇数次の高調波成分を含みそれらの励振強度は電極幅aとピッチpの比に依存することが知られている．本報告では，周期的空隙を有する接合構造上のLSAW高調波の共振特性を有限要素法(FEM)により解析した結果を報告する．