講演情報
[15p-K210-4]周期的空隙を有する圧電基板上のLSAW高調波共振特性の解析
〇(M1)小林 駿平1、鈴木 雅視1、垣尾 省司1 (1.山梨大)
キーワード：
弾性表面波デバイス、SH0モード板波、高次高調波
当研究グループで提案された，周期的空隙を有する支持基板との接合構造で，SH0モード板波に近いLSAW共振特性が得られることを明らかにしており，また，SAWは奇数次の高調波成分を含みそれらの励振強度は電極幅aとピッチpの比に依存することが知られている．本報告では，周期的空隙を有する接合構造上のLSAW高調波の共振特性を有限要素法(FEM)により解析した結果を報告する．