[15p-K210-1~12] 1.6 Ultrasonics

3:15 PM - 3:30 PM JST(6:15 AM - 6:30 AM UTC)

[15p-K210-7] Calibration Method of Optical Thickness Gauge Using UMS Technology

〇Yuji Ohashi¹, Jun-ichi Kushibiki¹, Kentaro Totsu¹, Takahiro Ito² (1.Tohoku Univ., 2.GEOMATEC Co. Ltd.)

Keywords:

optical thickness gauge,refractive index calibration,ultrasonic propagation velocity

光学厚さ計は非接触・非破壊的に再現性よく短時間での測定が可能であるが、一般的に材料の屈折率の決定精度が十分では無い場合が多く、算出される膜厚・基板厚の絶対値は大きな誤差を含む。そのため、弾性波フィルタの動作周波数や性能を左右する圧電薄膜の厚さ制御が困難となっている。そこで本報では、超音波マイクロスペクトロスコピー技術による音速測定値を基準とした光学厚さ計の校正方法を提案し、その有用性を実証する。