[15p-K210-1~12] 1.6 超音波

15:15 〜 15:30

[15p-K210-7] UMS技術による光学厚さ計の校正法の検討

〇大橋 雄二¹、櫛引 淳一¹、戸津 健太郎¹、伊東 孝洋² (1.東北大、2.ジオマテック)

キーワード：

光学膜厚計、屈折率校正、超音波伝搬速度

光学厚さ計は非接触・非破壊的に再現性よく短時間での測定が可能であるが、一般的に材料の屈折率の決定精度が十分では無い場合が多く、算出される膜厚・基板厚の絶対値は大きな誤差を含む。そのため、弾性波フィルタの動作周波数や性能を左右する圧電薄膜の厚さ制御が困難となっている。そこで本報では、超音波マイクロスペクトロスコピー技術による音速測定値を基準とした光学厚さ計の校正方法を提案し、その有用性を実証する。