[15p-K404-1~18] 12.2 Characterization and Materials Physics

6:00 PM - 6:15 PM JST(9:00 AM - 9:15 AM UTC)

[15p-K404-16] Fabrication of MEMS Devices Using SiN Membranes and Its Application in Thermal Diffusivity Measurement

〇Shuji Kamegaki¹, Meguya Ryu², Kohki Nomura¹, Ryoga Yamazaki¹, Hiroshi Haraguchi¹, Junko Morikawa¹ (1.Science Tokyo, 2.AIST)

Keywords:

Temperature Wave Analysis,Thermal diffusivity

TWA法は熱拡散率を測定する手法の一つで、試料の片面に周期的な温度波を印加し、反対の面での減衰した温度波の位相遅れから試料の厚さ方向の熱拡散率を求めることができる。本研究では、MEMS技術を用いて100 nmのSiNメンブレン基板を作製し、熱拡散率測定用のデバイスをその上に作製、評価を行った。