講演情報
[15p-K404-16]SiNメンブレンを用いたデバイスの作製と熱拡散率測定への応用
〇亀垣 柊二1、劉 芽久哉2、野村 光希1、山崎 亮雅1、原口 浩志1、森川 淳子1 (1.科学大院、2.産総研)
キーワード：
温度波熱分析、熱拡散率
TWA法は熱拡散率を測定する手法の一つで、試料の片面に周期的な温度波を印加し、反対の面での減衰した温度波の位相遅れから試料の厚さ方向の熱拡散率を求めることができる。本研究では、MEMS技術を用いて100 nmのSiNメンブレン基板を作製し、熱拡散率測定用のデバイスをその上に作製、評価を行った。