[15p-K503-1~15] 6.1 Ferroelectric thin films

4:30 PM - 4:45 PM JST(7:30 AM - 7:45 AM UTC)

[15p-K503-14] Wireless power transfer by magnetic field responsive MEMS vibrators using lead-free piezoelectric films

〇(B)Kira Fujihara¹, Sengsavang Aphayvong¹, Meika Takagi¹, Yohane Fujibayashi¹, Shuichi Murakami², Hidemasa Yamane², Norihfumi Fujimura¹, Takeshi Yoshimura¹ (1.Osaka Metro Univ., 2.ORIST.)

Keywords:

Ferroelectric thin film,Piezoelectric,BiFeO3

近年、ペースメーカーやインスリンポンプなど、体内に埋め込む医療機器が増加している。しかし、これらのデバイスは電源交換のために手術を必要とするため患者に負担をかけることが課題となっており、無線で生体内に電力を供給する技術が多様に提案されている。我々は、圧電体と交番磁界を利用した無線電力伝送に着目した。本研究では、BiFe1-xMnxO3を用いて圧電MEMS振動子を作製し、その給電性能の評価を行った。