[15p-K503-1~15] 6.1 強誘電体薄膜

16:30 〜 16:45

[15p-K503-14] 非鉛圧電薄膜を用いた磁界応答型MEMS振動子による無線給電

〇(B)藤原 輝羅¹、Sengsavang Aphayvong¹、高城 明佳¹、藤林 世覇音¹、村上 修一²、山根 秀勝²、藤村 紀文¹、吉村 武¹ (1.阪公大工、2.大阪技術研)

キーワード：

強誘電体薄膜、圧電体、BiFeO3

近年、ペースメーカーやインスリンポンプなど、体内に埋め込む医療機器が増加している。しかし、これらのデバイスは電源交換のために手術を必要とするため患者に負担をかけることが課題となっており、無線で生体内に電力を供給する技術が多様に提案されている。我々は、圧電体と交番磁界を利用した無線電力伝送に着目した。本研究では、BiFe1-xMnxO3を用いて圧電MEMS振動子を作製し、その給電性能の評価を行った。