[15p-K503-1~15] 6.1 Ferroelectric thin films

4:45 PM - 5:00 PM JST(7:45 AM - 8:00 AM UTC)Presentation by Applicant for JSAP Young Scientists Presentation Award

[15p-K503-15] BiFe_(1-x)Mn_xO₃ thin film-based neuromorphic MEMS acoustic senser

〇(M1)Meika Takagi¹, Sengsavang Aphayvong¹, Yohane Fujibayashi¹, Kira Fujihara¹, Syuichi Murakami², Hidemasa Yamane², Norifumi Fujimura¹, Takeshi Yoshimura¹ (1.Osaka Metro. Univ., 2.ORIST.)

Keywords:

ferroelectric,epitaxial films,BiFeO3

ニューロモルフィックセンサは高速かつ低消費電力なセンシングシステムとして注目を集めており、実現のためのアルゴリズムとして物理リザバーコンピューティング(PRC)が有力視される。我々はMEMS圧電振動センサを用いたPRCを報告している。本研究では、より広い応用が期待できる音響信号を対象としたニューロモルフィックセンサの実証のため、圧電MEMS振動子をBFOエピタキシャル薄膜で試作し、音波入力に対するPRC動作を検証した結果を示す。