[15p-K503-1~15] 6.1 強誘電体薄膜

16:45 〜 17:00奨励賞エントリー

[15p-K503-15] BiFe_(1-x)Mn_xO₃薄膜を用いたニューロモルフィックMEMS音響センサ

〇(M1)高城 明佳¹、Aphayvong Sengsavang¹、藤林 世覇音¹、藤原 輝羅¹、村上 修一²、山根 秀勝²、藤村 紀文¹、吉村 武¹ (1.阪公大工、2.大阪技術研)

キーワード：

強誘電体薄膜、エピタキシャル膜、BiFeO3

ニューロモルフィックセンサは高速かつ低消費電力なセンシングシステムとして注目を集めており、実現のためのアルゴリズムとして物理リザバーコンピューティング(PRC)が有力視される。我々はMEMS圧電振動センサを用いたPRCを報告している。本研究では、より広い応用が期待できる音響信号を対象としたニューロモルフィックセンサの実証のため、圧電MEMS振動子をBFOエピタキシャル薄膜で試作し、音波入力に対するPRC動作を検証した結果を示す。